GSL-1800X-ZF4高真空蒸發鍍膜儀

產品概述：

GSL-1800X-ZF4蒸發鍍膜儀是一款高真空的蒸發鍍膜儀，特別適合蒸鍍對氧較敏感的金屬膜（如Ti、Al 、Au等），也可蒸鍍各種氧化物材料。本機設有4個蒸鍍加熱舟，且每個蒸鍍舟都帶有擋板。若更改部分配置也可實現對有機材料的蒸發鍍膜，可滿足發光器件及有機太陽能電池方面的研究要求，是一款鍍膜效果理想且性價較高的實驗設備。

·  主要特點：
真空控制單元全部集合在一個控制盒內。

·  采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。

·  真空腔體設有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規，4個備用，便于安裝其他設備）。

·  在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。

·  4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發時相互污染。

（1）樣品臺安裝在腔體的頂部。

（2）腔內可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。

·  可使用循環水冷機。

技術參數：

·  輸入：單相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW

·  輸出：0-8V AC 可調，*大電流400A，*大功率8000W（包括真空泵）

·  真空腔：Φ300mm（內徑）×400mm，不銹鋼，內壁經電拋光處理

·  腔門：Φ200mm

·  觀察窗：Φ95mm，采用專用密封圈密封

·  真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s（標配GZK-103G分子泵）

·  真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后）

（1）極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃）

（2）漏率：5.0×10-7Pa/s

（3）樣品臺：Φ140mm

（4）蒸發舟與樣品臺間距：260mm

·  冷卻水需量：15L/min

產品規格：

·  尺寸：650mm×1200mm×1600mm；

·  重量：600kg

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